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簡要描述：IMP（Ions Milling Probe）離子蝕刻探針－終點(diǎn)檢測儀是自帶差式泵的耐用的二次離子質(zhì)譜儀，*的專業(yè)檢測終點(diǎn)儀器。用于離子蝕刻控制以及優(yōu)化工藝。適用于離子刻蝕過程中的二次離子和中性粒子分析。
產(chǎn)品型號：IMP-EPD廠商性質(zhì)：代理商更新時間：2023-11-22訪 問 量：4713| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子,航天,汽車,電氣 |
離子蝕刻探針－終點(diǎn)檢測儀
應(yīng)用：
· 終點(diǎn)檢測
· 靶的純度測定
· 質(zhì)量控制/SPC
· 殘余氣體分析
特點(diǎn)：
· 高靈敏度的SIMS/MS，帶脈沖離子計(jì)數(shù)檢測器
· 離子光學(xué)透鏡、能量分析器和離子源
· 真空規(guī)和安全互鎖裝置提供過壓保護(hù)
· 軟件MASsoft通過RS232、RS485或以太網(wǎng)控制
· 可編程的DDE，平行數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)I/O，RS232腳本通訊
應(yīng)用：
· 終點(diǎn)檢測
· 靶的純度測定
· 質(zhì)量控制/SPC
· 殘余氣體分析
特點(diǎn)：
· 高靈敏度的SIMS/MS，帶脈沖離子計(jì)數(shù)檢測器
· 離子光學(xué)透鏡、能量分析器和離子源
· 真空規(guī)和安全互鎖裝置提供過壓保護(hù)
· 軟件MASsoft通過RS232、RS485或以太網(wǎng)控制
· 可編程的DDE，平行數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)I/O，RS232腳本通訊
上一產(chǎn)品：EQP等離子體質(zhì)量和能量分析儀
下一產(chǎn)品：XBS MBE沉積速率監(jiān)測 分子束質(zhì)譜儀
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